离子注入
离子注入器圆盘翻新与涂层
借助高意 翻新和镀膜服务，延长离子注入设备的寿命，降低拥有成本，并提升设备性能。
高意 任何离子注入机转盘或散热器的维修、翻新和再制造方面高意 全面的能力。这涵盖了自20世纪70年代末至今生产的各类批量处理型离子注入机的所有品牌和型号。
核心能力
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一切都算在里面了 我们行业领先的创新技术可使使用寿命延长一倍，晶圆崩边率降低99%，金属污染减少50%，围栏“磨损沟槽”产生的颗粒减少80%，并使平均拥有成本降低30%。 |
高性能涂料 高意 弹性体基座和散热涂层可增强晶圆散热效果，提高生产效率，并改善晶圆各接触点之间的温度均匀性。 |
托隆围栏组件 采用高耐磨性的Torlon材料，可显著延长挡板和盘片的寿命，大幅减少晶圆崩边现象，减少挡板磨损沟槽的形成，并降低金属污染。 |
 改进的围栏设计 高意 螺纹锁紧导轨设计具有使用寿命更长、导轨无不对称磨损等优点，并消除了OEM压接式部件中常见的颗粒积聚问题。 |
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延长您的离子注入 的使用寿命
尽管半导体技术不断进步，但传统的批量离子注入机在许多晶圆厂中依然不可或缺——而其性能取决于一个关键部件：离子注入盘。
这些光盘需要进行精准、定期的翻新，以确保晶圆质量和设备可靠性。凭借超过25年的专业经验，高意 业界领先的翻新服务——并在美国和台湾设有两处通过ISO 9001认证的洁净室设施作为后盾。
从详细检测和先进的硅涂层处理，到弹性体升级和精密盘片平衡，我们的工艺能让您的盘片恢复至最佳性能——从而提高运行时间、减少污染，并保护您的投资。
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