客户成功案例
准分子 实现薄膜脉冲激光沉积 试制和批量脉冲激光沉积
挑战
薄膜沉积技术广泛应用于MEMS、半导体、光伏、显示以及5G滤光片 等众多领域。 随着新型复杂材料系统对材料性能的要求日益严苛，薄膜沉积技术必须不断扩展和提升质量，既要支持更广泛的薄膜工艺，又要确保工艺优化的灵活性。总部位于荷兰恩斯赫德的 Solmates公司 脉冲激光沉积 (PLD) 脉冲激光沉积 致力于为不断发展的薄膜行业开发可靠且易于使用的沉积设备。
解决方案
Solmates 团队脉冲激光沉积 (PLD)技术，这是一种物理气相沉积方法，利用准分子 化学计量 沉积具有复杂化学计量 材料。脉冲激光沉积 (PLD) 能够全面控制沉积参数，从而实现对最终薄膜性能（如成分、结晶度、密度、孔隙率和薄膜应力）的精准调控。 薄膜制造商可借此获得其他沉积技术无法企及的电学和光学薄膜性能，甚至能够开拓全新的材料体系和应用领域。Solmates 选择高意 LEAP 准分子 ，正是看中其兼具高能量（单脉冲高达 1 焦耳）和可扩展功率（80 至 300 瓦）的特点，这些特性直接脉冲激光沉积 (PLD) 吞吐量。 此外，LEAP 激光器 在苛刻的大批量生产环境中激光器 久经考验的 24/7工业 ，并能最大限度地降低每片晶圆的成本。
结果
如今，Solmates脉冲激光沉积 (PLD) 集成到任何标准集群框架中，支持 及大规模生产。随着适用于最大 300 毫米工业晶圆尺寸脉冲激光沉积 (PLD) 问世，工业 得以拓展其薄膜沉积能力，并在沉积产品组合中新增约 30 种新材料及材料体系。
高意 准分子 激光器 器是我们脉冲激光沉积系统的核心脉冲激光沉积
——阿扬·扬森斯，Solmates首席执行官，荷兰恩斯赫德
图1：Solmates 正在为不断发展的薄膜行业开发性能稳定且易于操作的脉冲激光沉积 (PLD) 设备。