激光设备与系统
LineBeam
线束系统是实现大尺寸基板面板上LTPS背板大规模量产并获得最高良率的关键光学技术。
可提供长度达1500毫米的线束轮廓,适用于最大至第10.5代的面板。具备短轴和长轴束均匀性,可实现最大吞吐量和光束利用率。卓越的脉冲稳定性和高景深确保了宽广的工艺窗口。
线束系统是实现大尺寸基板面板上LTPS背板大规模量产并获得最高良率的关键光学技术。
可提供长度达1500毫米的线束轮廓,适用于最大至第10.5代的面板。具备短轴和长轴束均匀性,可实现最大吞吐量和光束利用率。卓越的脉冲稳定性和高景深确保了宽广的工艺窗口。