紫外激光系统
充分利用我们独特的高能激光器 的光学系统专为LTPS、LLO、LIFT、脉冲激光沉积 (PLD)、LA-ICP-MS等应用而设计。
- 垂直整合借助我们经久耐用的激光器、光学元件 机械部件，规避风险，实现全天候运行。
- Proven工业 采用与高性能移动显示相同的支撑技术。
- 紫外线波长选项可选择 193、248 和 308 纳米系统，此外还提供 157 或 351 纳米的定制选项。
将我们的专业技术应用于紫外激光加工
凭借在激光器 光学系统50年的经验，我们深谙管理、整形和聚焦准分子 所面临的挑战。得益于垂直整合，我们能够按照最严格的标准设计、制造和组装完整的系统。
UVtransfer
UVtransfer 激光系统支持 新一代微LED显示器的支持 生产应用。
- 高通量——高能量准分子 支持大光斑尺寸。
- 面向未来——可处理50微米至5微米的模具尺寸。
- 三种一站式解决方案 从科研 到量产的全流程。
LineBeam
LineBeam紫外激光系统 最高良率，在大型基板面板上紫外激光系统 低温多晶硅（LTPS）背板的批量生产。
- 长型梁 - 最长可达1500毫米。
- 高均匀性——0.6%（2σ）。
- 大景深——最大±150 µm。
UVblade
UVblade激光器 LLO激光器 经济高效的解决方案，具有高光学效率，且在波长和能量密度方面具有广泛的可扩展性。
- 高均匀度 - 1.8 %
- 大景深——最大±200 µm。
- 高脉冲能量 最高可达 2000 mJ。
准分子 光束传输 光学元件
获取专准分子 光束传输 卓越光机工具，这些工具专为高脉冲能量、短紫外波长与高功率的独特组合而设计。
- Homogenize a Beam - <± 5% fluence variation.
- 可变衰减——精准的能量控制。
- 遮罩图像投影——4-10倍缩小。
VarioLas
VarioLas准分子 激光器 强大的COMPex 准分子 激光器 高质量的紫外微加工，并支持线状或方形光斑形状。
- 高能量密度——高达 7.5 J/cm²。
- 用途广泛且可调节——线型或方形截面。
- 高光学分辨率——≥ 5 µm。
GeoLasGC
GeoLasGC准分子 系统将 193 nm 脉冲、高性能偏光显微镜和高清摄像头观测功能相结合，用于激光烧蚀 分析。
- 高光学分辨率——1 µm。
- 可变样品点 - 2 - 160 µm。
- 高脉冲稳定性——1%（均方根值）。
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MicroLED（µLED）是一项相对较新的技术，能够呈现明亮、高显示。在未来五年内，µLED显示 市场显示 增长至超过 100 亿美元——激光器 在推动其生产方面激光器 至关重要的作用。
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