激光设备与系统

LineBeam

线束系统是实现大尺寸基板面板上LTPS背板大规模量产并获得最高良率的关键光学技术。 

可提供长度达1500毫米的线束轮廓,适用于最大至第10.5代的面板。具备短轴和长轴束均匀性,可实现最大吞吐量和光束利用率。卓越的脉冲稳定性和高景深确保了宽广的工艺窗口。

LineBeam – 部分关键性能指标

充分利用 LineBeam 的圆锥形光束轮廓,其在短轴和长轴方向均具有出色的均匀性,且波长仅为 308 nm 或 355 nm。

 

产品规格

参数

价值观

线长(毫米)

750 

1000 

1300

1500

光束轮廓类型 

沿两个轴向的圆锥形分布 

景深(微米)

±150 

±120

±120 

±120

长轴均质性(%)

0.6 (2σ) 

短轴均匀度(%)

0.8 (2σ)