激光设备与系统

UVtransfer

UVtransfer 激光系统支持 新一代微LED显示器的支持 生产应用。

UVtransfer 三合一系统专为工艺开发和中试生产线设计,能够以极高的灵活性执行激光剥离(LLO)、激光诱导正向转移(LIFT)以及像素修复/修整。该系统是一款全自动 LIFT 设备,具备最高的吞吐量和良率,正推动微LED显示 的生产显示 工业 。 UVtransfer R系统是一款专业的交钥匙解决方案,能够以极快的速度和极高的效率完成去除和填充工艺。 

UVtransfer- 概述

这些高性能系统具备无与伦比的精度,采用高能248 nm紫外激光驱动,通过大光斑尺寸实现高吞吐量。 

 

 

主要特点 益处 UVtransfer​
三合一系统​
- 研发工具与技术赋能者​
UVtransfer​

- 大规模生产 LIFT 工具​
UVtransfer R​

- 大规模生产维修工具​

全自动化及全天候使用

工业 的大批量生产

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多功能性

仅需一次投入,即可对三个流程进行调查、优化和验证​

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大字段尺寸与先进阶段概念

高吞吐量与卓越的系统效率

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支持所有尺寸的芯片,从50微米到5微米​

面向未来的技术。

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久经考验的准分子 源

消除技术风险。

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(COMpex )​

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(LEAP )​

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(IndyStar )​

深紫外线

几乎适用于所有材料。

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晶圆集成

通过工厂网络实现全系统控制,支持工业4.0

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综合诊断

极高的工艺稳定性和可靠性 ​

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MicroLED显示制造的创新

高意的新型UVtransfer系统通过激光剥离(LLO)、激光诱导正向转移(LIFT)以及修复/修整技术,正在推动MicroLED制造领域的创新。

MicroLED图像