光学

铌酸锂晶圆

Use Lithium Niobate's unique combination of high refractive index and visible and infrared transmission to makes waveguides, modulators, and sensors on our wafers.

Lithium niobate is a multifunctional material with high chemical and heat stability. Its high refractive index (>2.3) compared with glass (1.5) enables a large field-of-view when fabricated in wafer form for waveguide design.

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铌酸锂晶圆

Depend on Coherent, with over a decade of experience in Lithium Niobate wafer manufacturing, to provide wafers that meet your exact requirements.

数据手册

铌酸锂晶圆

材料规格
材料	相容：LiNbO₃
材料质量	Bubble or inclusion <100 μm Qty <8, 30 μm < bubble size < 100 μm
定向	Y切口 ±0.2°
密度	4.65 克/立方厘米
居里温度	1142 ±1℃
透明度	>95%（厚度10毫米，波长范围450-700纳米）
制造规范
直径	150 毫米 ± 0.2 毫米
厚度	350 微米 ± 10 微米
平坦度总厚度变化(TTV) 局部厚度变化（LTV）弓粗糙度	<1.3 μm Warp < 70 μm @ 150 mm wafer <70 μm @ 150 mm wafer Rq ≤0.5 纳米（原子力显微镜测得的均方根值）
表面质量	40-20
粒子	不可去除的颗粒： 100-200 微米 ≤3 个颗粒， 20-100 微米 ≤20 个颗粒
芯片	<300 μm (full wafer, without exclusion zone)
裂痕	无裂纹（完整晶圆）
污染	无不可去除污渍（整片晶圆）
并行性	<30 arc second
定向参照平面（x轴）	47 ±2 毫米