光学元件
锂镁钛酸盐晶圆
利用镧钛酸锂兼具高折射率以及可见光和红外光透过率的独特特性，在我们的晶圆上制造光波导、调制器和传感器。
铌酸锂是一种具有高化学和热稳定性的多功能材料。其高折射率（>2.3）使其在制成晶片用于光波导设计时，相比玻璃（1.5）能提供更宽的视场。
锂镁钛酸盐晶圆
Verlassen Sie sich darauf, dass Coherent mit über einem Jahrzehnt Erfahrung in der Herstellung von Lithium-Niobat-Wafern Wafer liefert, die genau Ihren Anforderungen entsprechen.
材料规格 |
|
材料 |
共晶：LiNbO3 |
材料质量 |
Blase oder Aufnahme <100 μm Aufnahme <8, 30 μm < Blasengröße < 100 μm |
定位 |
Y型切口 ±0.2° |
密度 |
4.65 克/立方厘米 |
居里温度 |
1142 ±1℃ |
透明度 |
>95%（厚度为10毫米时，波长范围为450–700纳米） |
生产规范 |
|
直径 |
150 毫米 ± 0.2 毫米 |
迪克 |
350 微米 ± 10 微米 |
平滑度 总厚度偏差（TTV） 局部厚度偏差 (LTV) 折射 粗糙度 |
<1,3 μm Verzerrung < 70 μm bei 150 mm Wafer <70 μm bei 150 mm Wafer Rq≤ 0.5 nm（根据原子力显微镜测得的均方根值） |
表面质量 |
40-20 |
粒子 |
无法去除的颗粒： 100–200 μm≤ 3 颗粒， 20–100 μm ≤20 颗粒 |
芯片 |
<300 μm (vollständiger Wafer, ohne Ausschlusszone) |
Riss |
无裂纹（完整晶圆） |
污染 |
无无法去除的污渍（完整晶圆） |
并行性 |
< 30 Bogensekunden |
平面定位指南（X轴） |
47 ±2 毫米 |
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