激光设备与系统

VarioLas

VarioLas 产品图片

基于高性能准分子 系统是灵活的工具，可用于采用线状或方形光斑形状进行高质量的紫外微加工。

卓越的光学设计、坚固的机械结构以及具有无与伦比的脉冲间稳定性的准分子 ，可提供精准的加工结果。应用领域包括激光剥离（LLO）分离、掺杂离子活化、剥离式图案化以及薄膜退火。

VarioLas – 部分关键性能指标

凭借VarioLas高达7.5 J/cm²的能量密度和100 Hz的脉冲重复频率，可获得精准的烧蚀或材料改性效果。

 

数据手册

产品规格

参数  

VarioLas Eco 

VarioLas Pro 

VarioLas 扫掠 

字段形状 

正方形  

正方形  

行  

场区尺寸（mm²） 

2 × 2 

2 × 2 

50 × 0.6 

光学分辨率（微米） 

30 

5 

– 

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