VarioLas

基于功能强大的COMPex 系统是一种灵活的工具，适用于对线状光束或方形光束进行高质量的紫外微加工。

卓越的光学设计、坚固的结构以及具有无与伦比的脉冲间稳定性的准分子激光器，可提供精确的效果。其应用包括激光剥离（LLO）分离、掺杂剂离子活化、烧蚀制图和薄膜退火。

借助 VarioLas 高达 7.5 J/cm² 的能量密度和 100 Hz 的脉冲重复频率，可获得精确的烧蚀或材料改性效果。

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