激光设备与系统
VarioLas
Systeme auf Basis des leistungsstarken COMPex Excimer-Lasers sind flexible Werkzeuge für die hochwertige UV-Mikromaterialbearbeitung mit einem Linienstrahl oder einer quadratischen Strahlfeldform.
Überlegenes optisches Design, robuste Mechanik und ein Excimer-Laser mit unübertroffener Puls-zu-Puls-Stabilität liefern präzise Ergebnisse. Zu den Anwendungen gehören die Laser-Schichtseparation (LLO), die Dotierstoffionenaktivierung, die ablative Strukturierung und das Dünnschichtglühen.
VarioLas – Wichtige Leistungskennzahlen
Mit der hohen (bis zu 7,5 J/cm2) Energiedichte und 100 Hz Pulswiederholfrequenz von VarioLas erhalten Sie präzise Abtrags- oder Materialmodifikationsergebnisse.
