紫外激光系统
请充分利用我们独特的高能紫外激光器的优势，这些激光器配备完整的光学系统，可针对LTPS、LLO、LIFT、脉冲激光沉积 (PLD)、LA-ICP-MS等应用进行配置。
- 垂直整合借助我们经久耐用的激光器、光学元件和机械部件，规避风险，享受全天候运行。
- 久经考验的工业级工具 显示 与高性能移动显示 相同的核心技术，值得信赖。
- 紫外线波长选项：可选择193、248和308纳米系统，以及定制的157或351纳米选项。
我们在紫外激光工艺方面的专业知识
凭借在紫外激光和光学系统领域50年的经验，我们深谙准分子在使用、成形和聚焦过程中的各项挑战。依托垂直整合优势，我们按照最高标准设计、制造并组装完整的系统。
UVtransfer
UVtransfer-Laser显示 的制造提供了特殊应用支持。
- 高通量——高能准分子支持大光斑尺寸。
- 面向未来——可处理50至5微米的颗粒。
- 从研发到批量生产，提供三种交钥匙解决方案。
LineBeam
LineBeam 紫外激光系统能够在大尺寸基板上实现低温多晶硅（LTPS）背板的高产量批量生产。
- 长线束——最长可达1500毫米。
- 高度均匀性——0.6%（2σ）。
- 大焦距——最大±150 µm。
UVblade
UVblade准分子 LLO 提供了经济高效的解决方案，具有高光学效率，且在波长和能量密度方面具有广泛的扩展性。
- 高均匀性 – 1.8%
- 大焦距——最大±200 µm。
- 高脉冲能量——最高可达2000 mJ。
准分子 光束传输 光学元件
获取卓越的光机工具，以优化准分子 专为高脉冲能量、短紫外波长与高功率的独特组合而设计。
- Homogenisieren eines Strahls – <± 5 % Fluenzschwankung.
- 可变阻尼——精准能量控制。
- 面具图像投影——缩小4至10倍。
VarioLas
VarioLas准分子基于高性能的准分子，可进行高质量的紫外微材料加工，支持线状光束或方形光斑形状。
- 高能量密度——高达 7.5 J/cm²。
- 用途广泛且可调节——适用于圆角或方形型材。
- 高光学分辨率——≥ 5 µm。
GeoLasGC
GeoLasGC准分子 193 nm 脉冲、高性能偏光显微镜和高清摄像头观测功能相结合，用于激光剥蚀电感耦合等离子体质谱（ICP-MS）分析。
- 高光学分辨率——1 µm。
- 可变样品斑点 – 2–160 µm。
- 脉冲稳定性极佳——1%（均方根值）。
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