紫外激光系统
通过针对LTPS、LLO、LIFT、脉冲激光沉积 (PLD)、LA-ICP-MS等工艺构建的完整光学系统，充分发挥专用高能紫外激光器的性能。
- 通过垂直整合、长寿命激光器、光学元件和结构，规避风险，实现全年无休、全天候运行。
- 久经考验的工业级工具，采用与高性能移动显示器相同的实现技术。
- 可选紫外线波长包括193 nm、248 nm、308 nm 系统，以及定制的 157 nm 或 351 nm 选项。
利用我们在紫外激光工艺方面的专业知识
凭借50年来在紫外激光和光学系统领域的丰富经验，我们深谙准分子激光束的控制、整形和聚焦技术。我们利用垂直整合优势，按照最严格的标准进行整个系统的设计、制造和组装。
UVtransfer
UVtransfer激光系统支持新一代microLED显示屏制造中的专用应用。
- 高吞吐量——支持采用高能量准分子激光器的大型场尺寸。
- 通向未来——可处理50～5微米的芯片尺寸。
- 三种可满足从研发到量产全流程需求的交钥匙解决方案。
LineBeam
LineBeam准分子紫外激光器能够以高产能大规模生产大型基板面板的低温多晶硅（LTPS）背板。
- 长线束——最长1500毫米。
- 高均匀性——0.6%（2σ）。
- 景深较大——最大±150 µm。
UVblade
UVblade准分子激光器为LLO提供了一种光效高、波长和能量密度扩展性优异且性价比高的解决方案。
- 高均匀性——1.8%。
- 景深较大——最大±200 µm。
- 高脉冲能量——最大2000 mJ。
准分子光束传输光学元件
请选购这款专为高脉冲能量、短紫外波长、高输出功率这一独特组合而优化的卓越准分子光束传输用光机工具。
- 光束均匀化——流场波动在5%以内。
- 可变衰减——精准的能量控制。
- 图像投影的遮罩 - 缩放比例为4～10倍。
VarioLas
VarioLas准分子紫外激光器以强大的COMPex准分子激光器为基础，通过线状光束或方形光束的场形，实现了高质量的紫外微加工。
- 高能量密度——最高7.5（J/cm²）。
- 多功能且可调节——线型或方形轮廓。
- 高光学分辨率 - ≥ 5 µm。
GeoLasGC
GeoLasGC准分子紫外系统通过结合193 nm脉冲、高性能偏光显微镜和高清摄像头观察功能，实现了激光烧蚀ICP-MS技术。
- 高光学分辨率——1 µm。
- 多功能样品点2 - 160 µm。
- 出色的脉冲稳定性——1%（均方根值）。
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