紫外激光系统
请充分利用我们专有的高能紫外激光器，配合专为LTPS、LLO、LIFT、脉冲激光沉积 (PLD)及LA-ICP-MS等工艺设计的完整光学系统。
- 借助垂直整合、寿命长久的激光、光学和机械系统，规避风险，享受全天候不间断运行。
- 您可以采用与制造高性能工业级移动显示器相同的技术。
- 请从 193、248、308 nm紫外波长选项系统以及定制的157 或 351 nm 选项中进行选择。
提供紫外线激光工艺的专业服务
凭借在紫外激光及光学系统领域50年的经验，我们深谙准分子光束的控制、成形和聚焦技术。得益于垂直整合，我们能够按照最严格的标准设计、制造和组装完整的系统。
UVtransfer
UVtransfer 激光系统专为下一代 microLED 显示屏的生产提供支持。
- 高通量——高能准分子激光器支持大光斑尺寸。
- 为未来做好准备——可处理50至5微米的芯片尺寸。
- 从研发到批量生产全流程的三种交钥匙解决方案。
LineBeam
使用 LineBeam 准分子紫外激光器，可在大型基板面板上以最高良率批量生产低温多晶硅（LTPS）背板。
- 线束 - 最大1500毫米。
- 均匀性 - 0.6%（2σ）。
- 景深——最大±150 µm。
UVblade
UVblade 准分子激光器提供了一种经济高效的 LLO 解决方案，在波长和能量密度方面均具备高光学效率和广泛的扩展性。
- 均匀性 - 1.8%
- 景深——最大±200 µm。
- 脉冲能量——最高2000mJ。
准分子光束传输光学系统
一款卓越的光机工具，专为优化准分子光束传输而设计， 能够处理高脉冲能量、短紫外波长与高功率的独特组合。
- 빔 균질화 - <± 5% 플루언스 변동.
- 可变衰减——精准的能量控制。
- 面具图像投影——缩小4-10倍。
VarioLas
VarioLas 准分子紫外激光器基于强大的COMPex 激光器，专为实现线状或方形光斑区域的高质量紫外微加工而设计。
- 能量密度——最高可达7.5焦耳/平方厘米。
- 多功能且可调节——线型或方形截面。
- 光学分辨率 - ≥ 5 µm。
GeoLasGC
GeoLasGC 准分子紫外系统是一款集成了193nm脉冲、高性能偏光显微镜以及用于激光剥离ICP-MS的高清摄像头观察功能的系统。
- 光学分辨率 - 1 µm。
- 可变样本斑点尺寸——2 至 160 µm。
- 脉冲稳定性 - 1%（均方根值）。
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什么是MicroLED显示屏？
MicroLED（µLED）是一项用于制造清晰高分辨率显示屏的相对较新的技术。未来五年内，µLED显示屏市场规模将增长至100亿美元以上，而激光技术在实现该显示屏的生产过程中发挥着关键作用。
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