准分子激光器
充分利用高能紫外脉冲在微电子、显示、科学研究、医疗和薄膜加工领域的优势。
- 处理大面积样品采用均匀的大面积圆柱形射束覆盖样品表面。
- 可扩展的紫外线功率根据需求调整功率水平，从试生产到大规模量产均可灵活应对。
- 将激光能量精准地、有选择性地应用于低温薄膜加工。
最全面的准分子激光器产品组合
我们在准分子激光领域拥有50多年的经验，深知只有选用与您的应用需求相匹配的准分子激光器，才能获得最佳效果。正因如此，我们提供最齐全的激光功率和能量选项，所有产品均具备卓越的品质和性能。
ExciStar
ExciStar 准分子角膜切削、矫正镜片刻字以及光学传感器制造等精密任务而设计。
- 高重复频率——最高可达 1 kHz。
- 台面——底座尺寸：650 x 300 毫米。
- 193 nm 或 248 nm——精准标记与烧蚀。
IndyStar
IndyStar 激光器是坚固耐用、高开机时间的准分子，专为喷墨喷嘴钻孔、测量技术和光学检测等高速脉冲应用而设计。
- 高脉冲频率——在全天候应用中可达 2 kHz。
- 半导体应用——兼容 Semi-S2。
- 193 纳米和 248 纳米——光刻工艺开发、光罩与光学元件检测、微材料加工。
COMPex
COMPex 可提供数百毫焦耳的脉冲能量，具有极高的脉冲间稳定性及出色的光束均匀性，适用于要求严苛的应用场景。
- 高能量——数百毫焦耳。
- 波长范围——193 nm、248 nm、308 nm、351 nm。
- 支持薄膜加工——晶圆加工、脉冲激光沉积。
LEAP
LEAP 准分子其高持续时间、高可靠性及低运营成本的独特优势，可提供高能量、高精度的加工解决方案。
- 多种功率等级可选——同一平台支持大规模量产、试生产及研发，功率最高可达600瓦。
- 按需脉冲——根据您的工艺流程调整脉冲模式，以最大限度地降低运营成本。
- 用途广泛——可选择 193 nm、248 nm 和 308 nm 型号，适用于脉冲激光沉积、微结构加工或显示器加工。
LAMBDA SX
LAMBDA SX 适用于生产领域的工业级准分子，其稳定的高能脉冲可支持大面积的紫外线加工，并确保光束稳定性。
- 高功率——最高可达600瓦。
- 高脉冲能量——高达1000 mJ。
- 高脉冲频率——三班制批量生产，频率高达600 Hz。
VYPER
VYPER（VYPER到准分子平台，可为大规模显示器生产提供最高的产能。
- 超强功率——最高可达3600瓦。
- 极高的脉冲能量——单次脉冲高达6焦耳。
- 无与伦比的能量稳定性——支持 OLED 和 MicroLED 背板加工。
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