准分子激光
高能紫外脉冲可广泛应用于微电子、显示器、理科研究、医疗及薄膜加工等领域。
- 大面积样品加工：利用均匀的大面积平顶光束覆盖样品表面。
- 可调节的UV输出无论从样品制作到批量生产，都能提供合适的输出功率。
- 卓越的精度：通过低温薄膜加工，可对激光能量进行选择性照射。
丰富的准分子激光产品组合
凭借50年来在准分子激光领域的丰富经验，我们坚信，只要客户选用适合其应用场景的准分子激光器，就能获得最佳效果。因此，我们提供了一系列具有卓越品质和性能、覆盖广泛激光输出功率和能量范围的产品。
ExciStar
ExciStar台式紫外线准分子激光器专为角膜消融、处方镜片标记以及光学传感器制造等精细作业而设计。
- 高重复频率：最大1 kHz。
- 台式型：650 x 300 毫米的紧凑设计。
- 193 nm 或 248 nm：高精度标记与烧蚀。
IndyStar
IndyStar激光器是一款坚固耐用、高占空比的紫外线准分子激光器，专为喷墨喷嘴打孔、测量、光学测试等需要高速脉冲的应用而设计。
- 高脉冲频率：在需要24小时365天不间断运行的应用中，可实现最高2 kHz的高脉冲频率。
- 最适合半导体应用：符合Semi-S2标准。
- 193 nm 型号与 248 nm 型号：光刻工艺开发、光掩模、光学系统测试、微加工。
COMPex
COMPex 要求严苛的应用而设计，可提供数百毫焦耳的脉冲能量，同时具备高脉冲间稳定性和出色的光束均匀性。
- 高能量：数百毫焦耳。
- 波长范围：193 nm、248 nm、308 nm、351 nm。
- 支持薄膜加工：包括晶圆加工和脉冲激光沉积脉冲激光沉积 (PLD)。
LEAP
LEAP 不仅具备高能量、高精度加工的特点，还同时实现了高占空比输出、高可靠性及低拥有成本。
- 广泛的输出功率范围——同一平台即可支持最高600瓦的大规模生产、试生产及开发。
- 按需脉冲功能：可根据加工流程调整脉冲模式，从而将运营成本降至最低。
- 通用性：脉冲激光沉积 (PLD)、微结构加工及显示器加工的193 nm、248 nm、308 nm型号中进行选择。
LAMBDA SX
LAMBDA SX是一款面向生产现场的工业用紫外线准分子激光器。凭借稳定的高能量脉冲，它能够以稳定的光束实现大面积的紫外线加工。
- 高功率：最大600瓦。
- 高脉冲能量：最大1000 mJ。
- 高脉冲频率：最高600 Hz，可实现3个班次的批量生产。
VYPER
VYPER的1～多千瓦紫外线准分子激光平台，可实现大规模显示器生产所需的极高吞吐量。
- 超高功率：最大3600瓦。
- 每脉冲最高可达6焦耳的极高脉冲能量。
- 无与伦比的能量稳定性：适用于有机EL和MicroLED背板加工。
热门博客
MicroLED显示屏制造领域的创新
Coherent的新型UV转移系统为MicroLED制造带来了革新，该系统集成了激光剥离（LLO）、激光诱导正向转移（LIFT）以及修复/修边功能。
准备好开始了吗？
请留下您的联系 ，我们的专家将与您联系。