准分子激光器
将高能紫外脉冲应用于微电子、显示器、科学研究、医学及薄膜加工领域。
- 大范围场加工利用均匀且宽广的平顶光束覆盖样品表面。
- 可扩展的UV打印，从试产到量产，灵活调整打印规模。
- 在最高精度的低温薄膜工艺中，选择性地沉积激光能量。
广泛的准分子激光器产品组合
凭借在准分子激光领域50年的经验，我们深知选用适合应用场景的准分子激光器才能获得最佳效果。正因如此，我们提供涵盖最广泛功率和能量范围的激光器，确保其具备卓越的质量和性能。
ExciStar
ExciStar 紫外线准分子激光器专为角膜切削、矫正镜片标记以及光学传感器制造等精密作业而设计。
- 高重复率 - 最高 1kHz
- 桌面 - 所需空间 650x300毫米。
- 193nm 或 248nm——精密标记与烧蚀。
IndyStar
IndyStar 坚固耐用的高性能脉冲紫外线准分子激光器，专为喷墨喷嘴钻孔、测量及光学测试等高速脉冲应用而设计。
- 高脉冲频率——即使全年无休运行，最高可达2kHz。
- 半导体用途 - 符合 Semi-S2 标准。
- 193nm 和 248nm——光刻工艺开发、光掩模及光学测试、微加工。
COMPex
COMPex 激光器具有极高的脉冲间稳定性与卓越的光束均匀性，可提供数百毫焦耳的脉冲能量，特别适用于要求严苛的应用场景。
- 高能——数百毫焦耳。
- 多种波长——193nm、248nm、308nm、351nm。
- 薄膜加工支持——晶圆加工、脉冲激光沉积。
LEAP
LEAP 准分子激光器凭借高占空比输出、高可靠性以及低拥有成本的结合，可实现高能量、高精度的加工。
- 广泛的功率级别选择——同一平台可支持最高600瓦的大规模生产、试生产及研发。
- 按需脉冲——根据工艺流程调整脉冲模式，从而最大限度地降低运营成本。
- 多功能——可根据脉冲激光沉积、微加工或显示器加工的需求，在193nm、248nm和308nm型号中进行选择。
LAMBDA SX
LAMBDA SX 是一款适用于生产现场的工业级紫外线准分子激光器，不仅具备出色的光束稳定性，还拥有稳定的高能脉冲，可支持大面积紫外线处理。
- 高功率 – 最高 600W
- 脉冲能量——最高1000mJ。
- 高脉冲频率——最高可达600Hz，适用于三班制大规模生产。
VYPER
VYPER 激光平台可提供高达数千瓦的功率，支持最高处理量，从而实现显示器的批量生产。
- 超高功率——最高可达3600W。
- 极高的脉冲能量——单次脉冲最高可达6焦耳。
- 卓越的能源稳定性——支持OLED和MicroLED背板加工。
推荐博客
MicroLED 显示屏制造创新
Coherent 的新型 UVtransfer 系统正通过 LLO（激光剥离）、LIFT（激光诱导正向转移）以及修复/修整技术，推动 MicroLED 制造领域的革新。
准备好开始了吗？
请留下您的联系 ，我们的专家将与您联系。