激光

LAMBDA SX

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안정적이고 높은 에너지 펄스를 통한 뛰어난 빔 안정성으로 대면적 UV 처리를 지원하며 생산 현장에 사용할 수 있는 산업용 UV 엑시머 레이저를 찾아보십시오.

미세 가공, 고급 반도체 패키징, 기능성 필름 생성(펄스 레이저 증착(PLD), 레이저 리프트오프(LLO), UV LIDAR, 엑시머 레이저 어닐링(ELA) 등을 통한)을 포함하여 정밀도와 처리량을 극대화합니다. 

LAMBDA SX 주요 성능 지표

고출력, 높은 펄스 에너지 및 프로세스 가능 펄스 반복률의 고유한 조합을 활용합니다.

 

数据表

产品规格

型号 波长（nm） 最大脉冲频率（Hz） 最大脉冲能量（mJ） 最大功率（W）
LAMBDA SX 308 600 1000 600
LAMBDA SX 500 500

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