离子注入

离子激光注入代工服务

综合离子激光注入服务,请交由Coherent负责。无论项目规模大小或所属领域如何,我们都能提供稳定的支持,并具备应对需求激增的产能。

这家世界级高意 注入代工厂能够满足各类注入需求,涵盖从300毫米晶圆量产,到更小尺寸晶圆和芯片的研发,以及化合物半导体衬底的热注入。

主要功能

无与伦比的体验

Coherent 凭借业内经验最丰富的离子注入应用团队,为客户提供最快捷、最具成本效益的解决方案,助力客户取得最大成功。

  • 硅及化合物半导体衬底
  • 加热及常温种植体
  • 研究与开发
  • 种植体建模与工艺匹配
  • 小型晶圆

值得信赖的合作伙伴

如何将Coherent作为种植体合作伙伴:

  • 把握市场扩张或变革的机遇
  • 意外离子注入系统故障的恢复
  • 离子注入工艺部分或全部外包
  • 支持48小时内处理

综合资料

  • GaAs/InP
  • 碳化硅
  • GaN
  • Diamond 系列
  • LiNbO₃/LiTaO₃
  • 砷化铟
  • ZnSe
  • SiO₂/Si

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此外,您还将了解VCSEL与EEL之间的区别,以及二者为何对尖端应用领域至关重要。凭借数十年的专业经验和全球代工模式,Coherent提供从仿真到大规模晶圆加工的端到端离子注入服务,助力您更快、更智能地实现创新。

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