光学
镀膜
得益于Coherent的垂直整合,我们可以指定未镀膜光学元件以及已镀膜(而非单独镀膜)光学元件的性能。
如果您追求卓越的性能,且不希望在寿命、损伤阈值或预算方面做出妥协,那么仅靠单一镀膜工艺是无法为各类镀膜光学器件带来这些优势的。正因如此,我们的镀膜设施具备全面的技术能力。
主要功能
离子束溅射(IBS) 该方法凭借其极高的光谱精度,可形成更坚固、密度更高的镀膜。最适用于小型光学设备。 |
磁控溅射 虽然它能生成高密度光斑,但速度比IBS更快,因此被用于大型光学设备。然而,由于它会使光学设备升温,因此无法应用于所有领域。 |
蒸发镀膜 虽然这是一种经济且快速的方法,且与大多数材料兼容,但其涂层的硬度不如溅射法。 |
![]() 采用离子辅助沉积法(IAD)的蒸发 带电离子用于对沉积的原子施加冲击力,从而形成密度更高的涂层。不过,它最适合用于小型光学器件。 |
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