通用光学元件

可变半径反射镜

可变曲率镜（VRM）

该光学元件有助于动态调节景深，并补偿整个工作台的焦距变化，从而提高CO₂ 效率。

可变半径反射镜是一种独特的组件，可通过水压或气压改变光学元件的曲率半径，从而动态调整光束发散度。它们可以采用多种定制配置。

可变半径反射镜 (VRM) 功能

Coherent 采用专有的设计技术来准确建模 VRM 形状，预测其在压力下会如何变形，并针对特定应用对其进行优化。

数据表

典型铜 VRM 规格

加压方法 

水

空气 

反射镜直径

57.1 毫米 

79.0 毫米

通光孔径 

35毫米

50 毫米 

半径范围

-6 m 至 6 m 

3 m 至平面

平面至 3 m 

1.2 m 至 -1.6 m

加压范围 

3 至 12 bar

0 至 12 bar 

入射角

接近正常 

45° 

指向稳定性 

≤ 30 角秒

反射率 

> 99.8% (10.6µm)

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