激光设备与系统
准分子 光束传输 光学元件
Hochwertige Optik, abgestimmt auf die einzigartige Kombination aus hoher Pulsenergie, kurzen UV-Wellenlängen und hoher Leistung.
Viele Anwendungen von Excimer-Lasern benötigen Zuführungsoptiken – zum Projizieren, Homogenisieren und/oder Abschwächen des Strahls. Coherent nutzt eine unübertroffene Kombination aus Erfahrung und technischem Wissen, um optomechanische Werkzeuge für diese Herausforderung zu entwickeln.
Excimer Beam Delivery Optics – Übersicht
Vereinfachen Sie Ihre Excimer-Laseranwendung mit standardmäßigen und kundenspezifischen Strahlführungsoptiken und optomechanischen Modulen.
产品规格
产品类型 |
主要特点 |
Abschwächer |
Variabler Abschwächer mit Kompensatorplatte, um Strahlablenkung zu vermeiden |
Homogenisatoren |
Erzeugt ein einheitliches Feld von 5 x 5 mm oder 10 x 10 mm mit einer Abweichung von <± 5% |
Projektionslinsen |
5x oder variable 4–10x Verkleinerung mit höheren Werten auf Anfrage |
