激光设备与系统

准分子光束传输光学元件

UV 光学元件产品图片

高パルスエネルギー、短UV波長、高出力の独自の組み合わせにマッチした高品質オプティクス。

エキシマレーザの用途の多くに、ビームの投射、均一化、減衰のための伝送オプティクスが必要です。 Coherentは卓越した経験と技術知識によって開発した光学機械ツールを使って、この課題に対応します。 

エキシマビーム伝送オプティクス - 概要

標準およびカスタムビーム伝送オプティクスと光学機械モジュールで、エキシマレーザをよりシンプルに利用できるようにします。

 

数据表

产品规格

产品类型

主要功能

減衰器 

可変減衰器には、ビームWalk-offをなくすための補正用のプレートが含まれています。 

ホモジナイザー

5 x 5 mmまたは 10 x 10 mmの均質なフィールドを生成します（変動が±5%以下） 

投影レンズ 

5Xまたは可変4～10Xの縮小倍率（必要に応じて高い値を使用） 

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