准分子激光器
将高能紫外光脉冲应用于微电子、显示器、科学研究、医学和薄膜加工。
- 大面积处理：使用均匀的大面积平顶光束覆盖样品表面。
- 可调节的紫外光功率，可从试生产到批量生产阶段灵活调整功率水平。
- 极致精度，在低温薄膜加工中选择性地沉积激光能量。
种类齐全的准分子激光器产品系列
凭借在准分子激光器领域50年的经验，我们深知，选用与您的应用相匹配的准分子激光器，将能为您带来卓越的效果。正因如此，我们提供了范围极广的激光功率和能量选项，所有产品均具备卓越的质量和性能。
ExciStar
ExciStar 这些任务包括角膜消融、处方透镜标记以及光学传感器制造。
- 高重复频率——高达 1 kHz。
- 台式 - 占地面积为 650 毫米 × 300 毫米。
- 193 nm 或 248 nm - 精确标记和烧蚀。
IndyStar
IndyStar （如喷墨喷嘴钻孔、测量和光学测试）而设计。
- 高脉冲频率——在全天候应用中可达 2 kHz。
- 半导体应用 - 符合 Semi-S2 标准。
- 193 nm 和 248 nm - 平版印刷显影、光掩模和光学测试、微加工。
COMPex
COMPex 可产生数百毫焦耳的脉冲能量，具有极高的脉冲间稳定性及出色的光束均匀性，适用于要求严苛的应用。
- 高能量——数百毫焦。
- 多种波长——193 nm、248 nm、308 nm、351 nm。
- 支持薄膜加工——晶圆加工、脉冲激光沉积。
LEAP
LEAP 、高可靠性和低使用成本，可进行高能量、高精度的加工。
- 丰富的功率等级选择——同一平台支持高达 600 瓦的大批量生产、试生产和开发。
- 按需脉冲——根据您的工艺流程调整脉冲模式，从而最大限度地降低运营成本。
- 多功能——可从 193 nm、248 nm 和 308 nm 型号中选择，适用于脉冲激光沉积、微结构或显示器加工。
LAMBDA SX
LAMBDA SX 的工业紫外准分子激光器，具有稳定的高能脉冲，支持大面积紫外光加工，并具备出色的光束稳定性。
- 高功率——高达 600 瓦。
- 高脉冲能量——高达 1000 mJ。
- 高脉冲频率——三班制批量生产，频率高达 600 Hz。
VYPER
VYPER 大规模显示屏生产所需的超高吞吐量。
- 功率极高——高达 3600 瓦。
- 极高的脉冲能量——单次脉冲高达 6 J。
- 无与伦比的能量稳定性——支持 OLED 和 MicroLED 背板加工。
精选博客
创新的 MicroLED 显示制造
高意 UVtransfer 系统正通过激光剥离 (LLO)、巨量转移 (LIFT) 和激光修复技术，推动 MicroLED 制造领域的创新。
准备好开始了吗?
分享您的联系信息，我们的专家会与您联系。