光学器件
铌酸锂晶圆
利用锂铌酸盐特有的高折射率及其在可见光和红外光谱范围内的透射率，我们在晶圆上制造波导结构、调制器和传感器。
锂铌酸盐是一种化学稳定性和热稳定性极高的多功能材料。与玻璃（1.5）相比，其折射率更高（>2.3），在以晶圆形式制造用于波导设计的产品时，可实现大视场。
铌酸锂晶圆
高意 经验，我们可以提供符合您具体要求的晶圆。
材料规格 |
|
材料 |
同质：LiNbO3 |
材质质量 |
气泡或夹杂物 <100 μm 数量 <8，30 微米 < 气泡大小 < 100 μm |
方向 |
Y 轴 ±0.2° |
密度 |
4.65 克/立方厘米 |
居里温度 |
1142 ±1℃ |
透明度 |
450–700 nm 范围内 >95%（厚度为 10 mm） |
制造规格 |
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直径 |
150 毫米 ± 0.2 毫米 |
厚度 |
350 微米 ± 10 微米 |
平坦度 总厚度偏差 (TTV) 局部厚度偏差 (LTV) 弯曲度 粗糙度 |
<1.3 μm 翘曲度 < 70 μm @ 150 mm 晶圆 <70 μm @ 150 mm 晶圆 Rq≤ 0.5 nm（AFM 的均方根值） |
表面质量 |
40-20 |
颗粒 |
无法去除的颗粒： 100-200 μm ≤ 3 个颗粒， 20-100 微米 ≤ 20 个颗粒 |
芯片 |
<300 μm（全晶圆，无除外区） |
裂纹 |
无裂纹（整片晶圆） |
污染 |
可去除所有污渍（整片晶圆） |
并行度 |
<30 角秒 |
方向参考平面（x 轴） |
47 ±2 毫米 |
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