一般光学系统

微透镜阵列

微透镜阵列

请使用我公司的1D或2D微透镜阵列（MLA），构建极其紧凑的准直与聚焦系统。

Coherent MLAは通常、個々のレンズレットが正方形または六角形の周期パターンに配置され、レンズピッチが数百マイクロメートルで構成されます。ナノインプリンティング、フォトリソグラフィー、ガラスモールドを使用して製造できます。

マイクロレンズアレイの機能

Coherentは、さまざまな材料でさまざまな構造のMLAを製造できます。近赤外MLAの大量生産は、6インチのSiウェーハ上で実現できます。 

数据表

シリコンマイクロレンズアレイの仕様

材料仕様

材料

硅

反射率

≈ 3.42

透明性

R < 0.2% T >99% @ 1260～1340 nm

製造仕様

直径

600 ± 5 微米

厚さ

400 ± 10 微米

ピッチ

750 ± 1 微米

クリア開口部

>510 纳米

曲率半径

3.0 毫米

円錐曲線

0

表面粗さ

< 5 nm RMS

レンズ面形状のずれ

< 35 nm RMS

表面品質

スクラッチ/ディグ:5/1 x 0.025 (ISO 10110-7準拠)

チッピング

< 100 μm

エッジの垂直性

90 ± 2°

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