通用光学

微透镜阵列

微透镜阵列

使用我公司的1D或2D微透镜阵列（MLA）来构建超小型准直和聚焦系统。

Coherent MLA는 일반적으로 수백 마이크로미터의 렌즈 피치를 포함하여 정사각형 또는 육각형 주기 패턴으로 배열된 개별 렌즈렛으로 구성됩니다. 나노임프린팅, 포토리소그래피, 유리 성형을 사용하여 제작할 수 있습니다.

마이크로 렌즈 어레이 기능

Coherent는 다양한 재료를 사용하여 다양한 구조의 MLA를 생산할 수 있습니다. 6인치 Si 웨이퍼에서 근적외선 MLA의 대량 생산을 달성할 수 있습니다. 

数据表

실리콘 마이크로 렌즈 어레이 사양

소재 사양

材料

硅

반사 굴절률

≈ 3.42

투명도

R<0.2% T>99%(1,260~1,340nm)

제조 사양

직경

600±5μm

두께

400±10μm

피치

750±1μm

투명 조리개

>510nm

곡률 반경

3.0mm

원추형

0

표면 거칠기

<5nm RMS

렌즈 표면 프로파일 편차

<35nm RMS

표면 품질

스크래치-디그: ISO 10110-7 기준 5/1x0.025

치핑

<100μm

모서리 수직성

90±2°

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