先进封装与互连

通过采用高性能光学元件、激光器和复合材料,提升划片、封装和测试的精度及吞吐量。

  • 提高稳定性通过采用先进的复合材料,减少系统中的机械问题和热问题。
  • 精密加工利用高性能激光制造更小、更精确的特征和切口,以实现先进封装。
  • 多功能打标:利用高性能激光器对半导体、聚合物、陶瓷、金属及其他材料进行打标。
先进封装与互连
BEOL 晶圆切割、封装与测试

高吞吐量

从晶圆划片到最终封装和测试,随着芯片尺寸不断缩小,芯片的后端工艺需要具备更高的速度和机械精度,同时降低成本。高意 实现这些目标。金属基复合材料可提供平整度更高、刚度更大、导热性更强且重量更轻的机械部件。激光器可精确执行各种无法通过机械方式完成的钻孔和切割工艺,以及许多非接触式标记任务。

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